据招标平台信息显示，近日，上海积塔半导体多项设备中标结果公布。北方华创、拓荆科技、芯源微、阿斯麦（ASML）等成功中标上海积塔特色工艺生产线项目33台设备，其中北方华创、拓荆科技、芯源微，三家合计中标量占比约67%，国产设备比重较大。
 

全球半导体观察根据招标平台信息整理制图

 

据悉，北方华创中标10台设备，包括合金化工艺低压立式炉管、缓冲层氧化膜炉管、铝刻蚀机、铝金属物理气相沉积机、铝铜金属溅射设备等；拓荆科技中标3台二氧化硅等离子薄膜沉积设备、8台二氧化硅氮化硅氟化硅氮氧化硅等离子薄膜沉积设备；芯源微中标1台聚合物涂胶显影机；阿斯麦中标2台i-line光刻机、1台KrF光刻机。

 

官方信息显示，上海积塔半导体此次是为特色工艺生产线项目招标。该项目2017年签约落户上海临港，2018年8月开工建设，2019年12月首台光刻设备搬入，2020年3月正式投片，2020年6月投产仪式举行。据悉，该项目总投资359亿元，目标是建设月产能6万片的8英寸生产线和5万片12英寸特色工艺生产线。据新华社报道，今年5月，上海积塔半导体已经明确将在上海临港投资二期项目，新增固定资产投资预计超过260亿元。

 

根据此前中国国际招标网的信息显示，上海积塔半导体的一期产线当中，64%的清洗设备都是由北方华创供应的，此外还部分采用了北方华创与成都莱普科技的热处理设备，上海微电子装备和中科飞测的测量设备。

 

而统计今年至今招标平台信息可知，上海积塔半导体今年招标工艺设备超150台，值得注意的是，今年其设备国产化率有明显提高趋势。在中标厂商中，北方华创、中微公司、屹唐、芯源微电子、上海精测、盛美上海等占比较大。分设备看，干法去胶设备、刻蚀设备、清洗设备、离子注入机、抛光设备、涂胶显影设备是国产化集中领域。