国家知识产权局信息显示，浙江睿熙科技有限公司申请一项名为“VCSEL 集成晶圆及其制造方法”的专利，公开号 CN 119134035 A，申请日期为 2023 年 7 月。

专利摘要显示，公开了一种 VCSEL 集成晶圆及其制造方法，其中，所述 VCSEL 集成晶圆包括：至少一 VCSEL 芯片、与所述 VCSEL 芯片相间隔的至少一光电二极管芯片，以及，在晶圆级别上集成于所述 VCSEL 芯片的热电制冷结构，每一 VCSEL 芯片包括至少一 VCSEL 发光点；所述 VCSEL 芯片和所述光电二极管芯片共用衬底层；所述热电制冷结构包括多个热电偶对，每一热电偶对包括相互电连接的 P 型结构和 N 型结构。