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    CASA立项“氮化铝晶片位错密度检测方法 腐蚀坑密度测量法”等2项氮化铝团体标准

    发表于:2024-11-25 来源:半导体产业网 编辑:

     11月25日,按照第三代半导体产业技术创新战略联盟标准化委员会(CASAS)相关管理办法,经CASAS管理委员会投票通过2项氮化铝晶片方面的团体标准立项建议,详细信息如下:

     


    秘书处将向CASAS正式成员发出征集起草单位的通知,组建标准起草小组,请CASAS正式成员关注秘书处邮件(casas@casa-china.cn)。

    T/CASAS 053—202X 氮化铝晶片位错密度检测方法 腐蚀坑密度测量法规定了氮化铝晶片位错密度的检测方法,适用于抛光加工后位错密度小于I0^7个cm^2的AIN晶片。通过本标准的实施,可以确保不同实验室和生产厂商之间的检测结果具有可比性,从而保障晶片质量的稳定性和可靠性。

    T/CASAS 054—202X 氮化铝晶片透射谱检测方法描述了氮化铝晶片透射谱的检测方法,包括样品制备、检测设备、检测程序、结果分析和报告。适用于氮化铝晶片的质量控制和评估。

     

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