2024年11月18-21日，第十届国际第三代半导体论坛（IFWS2024）&第二十一届中国国际半导体照明论坛（SSLCHINA2024）、先进半导体技术应用创新展（CASTAS）将在苏州国际博览中心G馆举办。

中微半导体设备（上海）股份有限公司将携多款产品亮相此次展会。诚挚邀请第三代半导体产业同仁共聚论坛，莅临B35 号展位参观交流、洽谈合作。中微半导体设备（上海）股份有限公司工艺主任工程师陈丹莹将出席论坛，并在“碳化硅衬底、外延生长及其相关设备技术“分会，带来“PRISMO PDS8 – 用于SiC功率器件外延生长的CVD设备”的主题报告，敬请期待！ 

嘉宾简介

陈丹莹

中微半导体设备（上海）股份有限公司工艺主任工程师

陈丹莹，主要研究方向为氮化铝薄膜的高温化学气相沉积。博士毕业后，她在法国国家科学研究中心-SIMaP实验室继续从事碳化硅薄膜CVD生长的科研工作。2021年加入中微半导体设备（上海）股份有限公司后主要从事AMEC MOCVD产品的工艺开发工作。凭借在化合物半导体技术、材料表征和数值模拟方面的扎实知识，她参与开发了AMEC用于碳化硅外延的CVD系统的工艺开发，主要负责实现低缺陷密度、高生长速率及掺杂控制。 

演讲报告：PRISMO PDS8 – 用于SiC功率器件外延生长的CVD设备

演讲场次：碳化硅衬底、外延生长及其相关设备技术 

公司简介

中微半导体设备（上海）股份有限公司（简称：中微公司，代码：688012）是一家以中国为基地、面向全球的微观加工高端设备公司。中微公司基于在半导体装备产业多年耕耘积累的专业技术，跨足半导体芯片前端制造、先进封装、发光二极管生产、MEMS制造以及其他微观制程的高端设备领域，其集成电路制造设备已被广泛应用于国际一线客户从65纳米到5纳米及更先进的芯片加工工艺，中微公司开发的用于LED和功率器件外延片生产的MOCVD设备在全球氮化镓基LED MOCVD设备市场占据领先地位。中微公司的客户遍布中国大陆和台湾、新加坡、韩国、日本、德国、意大利等国家和地区。 

Advanced Micro-Fabrication Equipment Inc. China is an innovative Asia-based semiconductor equipment company with a range of proprietary fabrication solutions designed to advance technology, increase productivity, and reduce manufacturing costs for leading global manufacturers of semiconductors and LEDs. We provide state-of-the-art equipment, process expertise, and stellar support to customers in front-end semiconductor manufacturing, back-end wafer level packaging, LED production, MEMS applications, and other semiconductor fabrication processes. AMEC is an entrenched supplier of IC manufacturing equipment, helping chipmakers build devices at process nodes as low as 5nm and beyond. In addition, AMEC's MOCVD tools are deployed in volume production by leading global manufacturers of LEDs and power devices, and occupy a dominant position in the GaN LED MOCVD market. AMEC products are used today by technology leaders in Chinese mainland and Taiwan region, as well as Singapore, Korea, Germany, ltaly and etc.

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